高精度表面粗糙度图像识别系统的研制

摘要

本文研究的是一套通过干涉显微镜成像,利用CCD相机提取干涉条纹进行图像识别和处理,实现高精度工件表面粗糙度快速、非接触、自动化的检测系统.该系统在干涉显微镜的结构基础上,安装了CCD相机,将干涉图像采集到计算机中,然后对采集到的图像进行滤波、判别、二值化处理、提取边缘轮廓,并按照GB/T 1031-2009《产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值》的要求进行计算,得到被测工件的表面粗糙度.经实验验证,该检测系统满足Ra值(0.01 ～0.1)μm和Rz值(0.1～1.0)μm测量要求,适用于高精度工件的表面粗糙度测量.