多电极圆柱型DBD等离子体发生器的仿真分析

摘要

针对多电极圆柱介质阻挡放电(Dielectric Barrier Discharge,DBD)等离子体发生器进行了仿真分析,主要对不同外加电压、放电长度、相邻外电极间距和电极宽度对电场强度的影响进行了研究。研究结果表明:随着外加电压的升高,石英玻璃表面的电场强度逐渐增大,越容易产生介质阻挡放电等离子体;放电长度为50 mm时石英玻璃表面的电场强度大于放电长度分别为10 mm、70 mm及30 mm的石英玻璃表面的电场强度;相邻外电极间距为10 mm时石英玻璃表面的电场强度大于相邻外电极间距分别为6 mm、4 mm及8 mm的石英玻璃表面的电场强度;电极宽度为5 mm时石英玻璃表面的电场强度大于电极宽度分别为8 mm、3 mm和10 mm的石英玻璃表面的电场强度。研究结果可为等离子体发生器的优化设计提供良好的理论基础。