高精度低转速标准装置的研制

摘要

为适应低转速计量技术发展需要,研制了高精度低转速标准装置,在转速范围0. 1～160r/min内,测量扩展不确定度优于5×10-6,k=3。装置采用超精细加工气浮转台,转台控制系统采用高精度位置/速度伺服环路控制技术。介绍了该装置的结构组成及工作原理,给出了测试的实验数据,并进行了不确定度评估。