外差激光干涉仪的实现方法及其特点

摘要

本文叙述了激光外差干涉测量技术的发展和应用，介绍了实现激光外差的三种方法，双频激光法，频移器件法和半导体激光线性调频法，文中分析了其特点及发展趋势。