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改进表面分流型二维PSD传感器及位置检测误差标定的研究

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介绍了改进表面分流型二维PSD传感器的工作原理及信号调理电路,针对传感器位置检测误差大的缺点,设计了实验标定系统,经修正处理后,在传感器A区的位置检测误差＜±0.02mm.

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来源
《计量技术》 |2004年第4期|16-19|共4页
作者
袁江; 孙玉海;
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作者单位

南通工学院机械工程系,南通市,226007;

南通市技术监督局,南通市,226000;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类仪器、仪表;
关键词
PSD传感器位置检测误差标定;

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