基于聚焦探测法的非接触表面形貌测量仪的研究

摘要

介绍了一种基于光驱聚焦探测技术的光触针式表面形貌测量系统.测量光束聚焦于被测表面上,当被测表面高度变化时,Z向精密位移工作台在步进电机和压电陶瓷的粗、精两级驱动下,使得工件沿垂直方向移动,让焦点始终聚焦在被测表面上,工作台的位移反映了工件表面高度的变化,该位移量由衍射光栅干涉位移传感器测得.该系统的垂直分辨力为1nm,垂直测量范围为2mm左右.