动态光电显微镜刻线瞄准信号的处理方法

摘要

研究了激光干涉比长仪的动态光电显微镜刻线瞄准信号的处理方法.分析了基于硬件电路的信号处理方法,及基于高速A/D采样、计算机数据处理的软硬件结合的信号处理方法,分别介绍了这两种方法的系统组成及工作原理.实验证明,前者抗干扰性能差,瞄准精度低;后者实现对刻线信号均匀等距采样,瞄准精度高,在测量速度达3mm/s时,可实现2nm的瞄准分辨率.