基于EDTA-Cu的柔性阴极制备试验与机理研究

摘要

为制备低成本和环保的柔性阴极,研究柔性电极的制备机理,本文以EDTA-Cu为活性材料,利用激光诱导化学镀铜工艺,制备了电解加工柔性阴极并进行了系统表征,对相关机理进行了探讨.试验结果表明,基于EDTA-Cu和改性聚氨酯的柔性阴极具有较好的激光诱导化学镀铜选择性,活性材料的成分和颗粒形貌、激光功率、扫描速度、激光波长、激光光斑尺寸和脉冲频率等是影响镀铜精度的主要因素,通过调整相关因素可以有效控制镀铜精度.此外,X射线能谱和俄歇电子能谱的测试结果表明,基于EDTA-Cu的柔性阴极经激光扫描后,扫描区域出现Cu0和Cu+1,从而揭示出以EDTA-Cu为活性成分的柔性阴极的化学镀铜机理.经过验证,EDTA-Cu制备的柔性电极可以满足电解加工的要求,能够加工出边缘齐整的线条.