具有逗留时间约束的多组合设备故障响应策略

摘要

在半导体制造中,多组合设备出现故障会导致晶圆加工受到影响。针对晶圆逗留时间约束的单臂多组合设备,研究了每台组合设备并行模块均出现一个模块故障后的有效调度问题。通过建立了单臂组合设备的Petri网模型,分析了系统稳态调度的时间特性。通过增加虚拟晶圆,提出了系统故障前稳态调度过渡至故障后可行稳态调度和不可行调度的有效运行控制策略。