耐高温压力传感器的设计研究

摘要

借助弹性力学和板壳力学理论,建立了双岛型耐高温压力传感器应变膜的简化力学模型,得到近似应力分布的数学模型.利用有限元分析方法,借助ANSYS仿真软件,对应变膜进行一系列的计算机模拟,探讨简化应力模型的合理性以及温度对应力差分布的影响,为力敏电阻在应变膜上的布置、研发新颖的高温压力传感器芯片提供有力的依据.