一种新型工业电加热器的开发与应用

摘要

成功实现SiCl4转化成SiHCl3的关键在于开发出适应这种苛刻工况下的新型电加热器.经过分析和实验,提出了"二次高温处理"和"压扁"的新工艺,彻底排除了电热管填料氧化镁粉中的水分,减小了热态泄漏电流,保证了电加热器在(400～500)℃连续长期稳定地工作8000h.新产品已经成功地应用于工业实际生产中,并打入了国际市场,具有明显的经济效益和社会效益.