精密加工中零重力垂直运动机构的设计与性能检测

摘要

精密加工中垂直运动机构的重力载荷会影响其定位性能,通常情况下采用平衡配重装置或流体缸来进行重力补偿。基于传统的重力补偿原理提出一种新型零重力垂直运动机构,应用于精密加工过程中。该机构采用直线电机直接驱动的方式、磁轭和滚动导轨支撑移动平台和平衡配重装置。由于受干扰的运动部件惯性增加一倍,该机构能有效地减小加工干扰力的影响。装置性能测试结果表明,该机构为移动平台的垂直运动提供了优越的驱动特性。