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访中科院微电子所副所长叶甜春教授IC装备走出三位一体创新路子

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@@ 记者:请您介绍在"十五"期间,作为国家863计划技术攻关重点支持的一个项目,我国IC装备技术和产品研发的重大意义和技术研究的突破点?

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来源
《机械设计与制造工程》 |2005年第11期|14|共1页
作者
丁常彦;
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作者单位

无;

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