日本开发出使用玻璃丝带的激光密封材料

摘要

日本电气硝子开发出了组合使用＂玻璃丝带＂和玻璃浆料的激光密封技术,可确保30～60μm基板间间隙厚度。原来使用的玻璃浆料的密封材料,最大只能确保5μm左右的基板间间隙厚度。而新产品通过在玻璃丝带的两面涂敷玻璃浆料,可获得更大的间隙厚度。玻璃丝带是日本电气硝子开发的带状玻璃产品,厚度为4～50μm、宽度为0.5～20 mm。与使用棒状及球状间隙隔板的现有产品相比,可确保精密的平行度。此外,只需激光照射即可密封,因此还有利于简化作业工序。