工艺气体过滤器过滤介质的评价

摘要

现代微电子电路的生产需要非常纯净的气体和液体,其中杂质粒子的含量必须非常稀少,且其直径均在亚微米量级。理想状态是无杂质粒子存在。目前,常用薄膜过滤器来去除杂质粒子,实践表明,它具有较高的过滤效率。