Microfabrication technology for non-coplanar resonant beams and crab-leg supporting beams of dual-axis bulk micromachined resonant accelerometers

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• 来源
  《浙江大学学报（英文版）（C辑：计算机与电子）》 |2013年第1期|65-74|共10页
• 作者

  Jian-qiang HAN; Ri-sheng FENG; Yan LI; Sen-lin LI; Qing LI;

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• 作者单位

  College of Mechanical & Electrical Engineering China Jiliang University Hangzhou 310018 China;

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 TP212;
• 关键词