用低相干光干涉测绘物体表面三维轮廓的立体分布

摘要

利用白光干涉对精密物体(如芯片、半导体、LCD等)进行表面轮廓立体分布的测绘,是国际上目前较为先进的技术.白光干涉测量术采用Michelson光路结构和宽频带光源,并且使用CCD作为接收探测装置.在用低相干度光源测绘物体表面三维立体分布的实验系统中,由于设计了新的算法(局部积分法)来计算光强包络面曲线峰值.因此与同类实验装置相比,其具有运算速度快(提高了近两倍)、抽样间隔大(为100nm)、精密度高(实验不确定度为5nm)、视野范围大(10mm×10mm)等特点.即使物面错综复杂,也能得到很好的测量结果.