基于PIN硅像素探测器的新型低电容结构设计与仿真

摘要

设计的新型低电容硅像素探测器是基于减少有效几何电极面积,同时保持探测器有效体积不变的思想提出的.借助半导体器件仿真软件（Sentaurus TCAD）对探测器的电特性，包括静电势、电场、电子浓度和电容进行了仿真,并与传统硅像素探测器对比，从而得到新型硅像素探测器比传统硅像素探测器电容小的结论.