采用体硅制造法的光波导压力传感器的一种初步设计

摘要

随着波导材料的研究和进展,作者采用新的波导材料设计出了一种波导式压力传感器,该文章就光波导压力传感器的原理和特性作了一个简要阐述,对它的工艺流程作了详细的描述。