一种动静态测量结合及大小数记数分离的直流光栅测试系统

杨秀芳; 乐静; 周仁魁

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一种动静态测量结合及大小数记数分离的直流光栅测试系统

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针对直流光栅测试系统分辨率低、精度难以提高的问题,提出了一种动静态测量结合、大小数记数分离的直流光栅测试系统.在光栅付相对移动的动态测量过程中,获得当量数为1/4光栅栅距的大数记数,在相对移动开始之前和结束之后的静态时刻,获得当量数为1/360光栅栅距的小数记数,最后通过大小数的正确结合,获得测量结果.

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来源
《西安理工大学学报》|2004年第2期|210-214|共5页
作者
杨秀芳; 乐静; 周仁魁;
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作者单位

西安理工大学,机械与精密仪器工程学院,陕西,西安,710048;

西安理工大学,机械与精密仪器工程学院,陕西,西安,710048;

中国科学院西安光机所,陕西,西安,710068;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH741.6;
关键词
动静态测量结合; 大小数记数分离; 直流光栅测试系统;

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