微扰法在静电电子透镜容差计算中的适用性分析

摘要

对微扰法在电子光学系统容差计算中的适用性进行了分析.针对电极偏心和电极加工不圆这两种常见缺陷,研究了2个解析模型--偏心双圆筒电容器和共焦椭圆柱电极,推导了其电位分布的表达式.并用所编写的基于微扰法的计算软件,计算了相应的缺陷电极结构的电场分布.将数值计算结果与解析解对比,得到了微扰法的计算误差关于电极缺陷与尺寸比的变化曲线.结果表明,形位公差为1～3级时,微扰法的计算误差仅为10-4,对电子光学器件的研制具有实际意义.