非晶GeO_2-SiO_2复合薄膜的制备及其红外吸收谱

摘要

采用锗－硅复合靶射频反应溅射技术，制备了ＧｅＯ_２含量ｘ＝０％～８１％的非晶ＧｅＯ_２－ＳｉＯ_２复合薄膜．用自动椭偏仪进行测量，得到复合氧化物薄膜中ＧｅＯ_２的含量．用傅里叶变换红外光谱仪测得此种薄膜的红外吸收谱随ＧｅＯ_２含量的变化关系，并讨论了其结构特征．