惯性式微动机构位移性能检测

摘要

微机与电容传感器结合实现了惯性式微机构位移性能的动静态检测，清晰地分辨出了驱动信号周期为５ｍｓ时微位移机构的响应波形，详细推导了测量系统的数学模型，非线性误差的表达式以及极板不平行造成测量误差的理论公式，并给出了误差抑制方法，本文还分析了环境温漂和弹性回复等因素对测量精度的影响。