国家同步辐射实验室U14C光束线气体滤波器的研制

摘要

为消除波荡器产生的高次谐波对国家同步辐射实验室新建的U14C光束线的影响,同时维持光束线中其他各子系统能在超高真空环境下工作,使用了三级差分抽气滤波系统.测试结果显示,在PAr＜1.333 kPa时,光束线真空度维持在＜1.09×10-6 Pa;往气室内通1.333 kPa Ar时,可有效抑制高次谐波的通过,效率达99.97%以上,光束线真空度维持在2.53×10-7 Pa,有效地降低了气体外泄至光束线的干扰.