用于大尺寸测量的无长导轨激光光纤干涉仪

摘要

介绍了一种用于大尺寸、无长导轨干涉测量系统，该系统由两种干涉仪构成。半导体激光光纤干涉仪用于定位，Ｈｅ－Ｎｅ激光干涉仪用于测量光程差。文中还就提高定位精度，采用脉冲电泳调制方法调制半导激光器作了介绍。实验中，采用１００ｍｍ导轨，测量距离为８００ｍｍ，测量误差为±２μｍ。