BCIM增感体系紫外光引发MMA聚合动力学及其应用

摘要

采用光引发剂邻氯代六芳基双咪唑、增感剂4,4-二(N,N′-二甲基-氨基)苯甲酮和供氢体N-苯基甘氨酸组成增感引发体系,研究了在高压汞灯照射下,增感体系中各组分与甲基丙烯酸甲酯光聚合速率的关系;并在此基础上初步研究了该体系在液态光致抗蚀剂中的应用。与常规的引发体系ITX/907相比,邻氯代六芳基双咪唑增感体系得到的图像线条更清晰,边缘更陡直。