OPTIMUM DESIGN OF PROCESSING CONDITION AND EXPERIMENTAL INVESTIGATION OF GRATING FABRICATION WITH HOT EMBOSSING LITHOGRAPHY

著录项

• 来源
  《固体力学学报：英文版》 |2009年第006期|P.665-671|共7页
• 作者

  Jianguo Zhu; Huimin Xie; Minjin Tang; Xiaojt;

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• 作者单位

  AML,;

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  Engineering;

  Mechanics,;

  Tsinghua;

  University,;

  Beijing;

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  China;

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  Beijing;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 CHI
• 中图分类 烹饪法、食谱、菜谱;
• 关键词

  最佳工艺条件; 优化设计; 光刻工艺; 光栅线; 实验; 有限元方法; 加工; 热压;

  机译：最佳工艺条件;优化设计;光刻工艺;光栅线;实验;有限元方法;加工;热压;