一种常压氧化炉热氧工艺研究

摘要

本文针对PERC(钝化发射极背面接触)电池生产中,常压氧化制备氧化层热氧亲水性较差的问题,通过优化调整常压氧化工艺沉积温度,并经亲水性、EL(电致发光)、EQE(外量子效率)、电性能测试等测试表征,研究表明:常压条件下进行氧化层制备,较低的沉积温度下,沉积速率较大,其所沉积氧化层致密度高,钝化效果好.