激光多普勒定位X-Y工作台单向运动系统精度分析

摘要

本文首先介绍了所研究的激光多普勒定位X-Y工作台单向运动系统的组成，同时简单介绍了达到目前的精度所采取的前馈螺距误差补偿措施等办法，然后详细分析了采取补偿措施后激光多普勒定位X-Y工作台单向运动系统的各个误差组成，特别指出了由摩擦力引起的误差的影响，最后分析计算了目前系统的综合定位精度，指出了下一步通过摩擦力的补偿控制来减少滚珠丝杠重复定位误差和滚珠丝杠螺距误差，提高系统的定位精度．