氯金酸金扩散及分析

摘要

探讨采用氯金酸金扩散代替惯用的蒸金扩散工艺。利用正向开路电压衰减法测量了扩金后的少子寿命并近似地估算了掺金浓度。利用X射线衍射仪对蒸金和涂敷氯金酸扩散的情况进行了X射线衍射峰谱的对比分析。结果表明所用的氯金酸是一种节能常源性能良好的扩散源。