基于MEMS集成加热器的温控系统研究

摘要

采用MEMS集成加热器设计一个温控系统。所用的加热器效率达到7.35 mm2K/mW,且功耗低。加热器面积为6 mm×6 mm,具有较高的系统集成度。该温控系统采用Fuzzy-PID温度控制算法,温度稳态误差小于0.1°C,并且约10秒即达到稳态,响应速度快。使用该系统对MEMS压力计进行环境温控,可明显抑制器件的温度漂移。