玻封低压稳定管的单步扩散工艺

摘要

本文对工作在隧道击穿状态下的低压稳压管Ｉ－Ｖ特性及动态电阻ＲＸ进行了理论分析。提出了用单步扩散平面工艺制作ＤＯ－３５玻封低压稳压管的工艺。制备的样品符合ＧＢ９５９６－８８标准。