数字水准仪条码尺分划线综合检定系统

摘要

与数字水准仪相配套的条码尺,由于分划线的宽度不相等,传统的检定设备不能使用。作者采用双频激光干涉仪和CCD阵列传感器组成新的分划线检定系统,该系统的测量准确度优于±5μm。为消除阿贝误差,该系统采用双频激光干涉仪的光轴与条码尺的纵轴共轴的结构。CCD阵列传感器安装在垂直于条码尺纵轴的方向上,可以观测1cm^2范围的尺面。