在表面电子谱仪中应用双电子枪的建议(简报)

摘要

表面电子谱仪中用以探测的电子束流来源于电子枪。为了保证仪器的灵敏度和分辨率,对电子束流提出了复方面的要求:首先,对于不同的电子谱仪要求电子具有不同的能量,且单色性要好;其次是电子束流必须达到一定的强度;再者,则要求电子束的平行度要好,即电子束的收敛角要小,以及电子束斑也要小,以便进行微区分析等。而以上这些要求在电子枪的设计中往往是相互矛盾的。在电子枪中应用电子能量单色器,可以提高电子束流的单色性,减少能量离散;安装孔阑能减小电子束的收敛角,提高平行发;但二者均使电子束流强度减小。加大阴极发射,可以增大电子束流,但电子束斑也跟着增大,