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甲烷在硅底靶上吸附的计算机模拟研究

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摘要

采用Tersoff和Brenner作用势,用分子动力学模拟方法,研究了甲烷入射到硅(001)-(2×1)表面的动力学过程.通过定点入射模拟计算出6个代表点的吸附阈值,分析了多种吸附结构.计算了随机入射的吸附概率.讨论了入射位置以及甲烷荷能大小对吸附结构的影响.

著录项

来源
《内蒙古民族大学学报：自然科学版》 |2013年第5期|497-501|共6页
作者
梁志辉; 李之杰;
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作者单位

内蒙古民族大学物理与电子信息学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类物理模拟方法、物理仿真;
关键词
甲烷; 硅底靶; 吸附; 类金刚石;

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