硅中微体缺陷激光测试技术的理论与实验研究

摘要

提出了一种基于广义伦兹－米氏理论（ＧｅｎｅｒａｌｉｚｅｄＬｏｒｅｎｚ＆ＭｉｅＴｈｅｏｒｙ）的硅中μｍ／ｎｍ级体缺陷的激光无损检测新途径，叙述了有关的理论基础，进行了系统的计算机仿真与特征提取的研究，实现了系统的模拟实验，验证了理论的正确性及方案的可行性。