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微透镜阵列用于线列红外探测器的研究

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摘要

采用离子束刻蚀制备了线列长方形拱面熔凝石英微透镜阵列,用准分子激光扫描消融法淀积了性能均匀而且稳定的YBa2Cu3O7-δ高温超导薄膜,用湿法刻蚀制备了超导薄膜器件,用微透镜阵列与超导薄膜器件耦合构成组合式红外探测器.测试了组合器件在1～5μm红外波段的光响应特性.

著录项

来源
《红外与毫米波学报》 |1998年第2期|147-152|共6页
作者
张新宇; 易新建; 赵兴荣; 麦志洪; 何苗; 刘鲁勤;
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作者单位

华中理工大学光电子工程系,湖北,武汉,430074;

华中理工大学光电子工程系,湖北,武汉,430074;

华中理工大学光电子工程系,湖北,武汉,430074;

华中理工大学光电子工程系,湖北,武汉,430074;

华中理工大学光电子工程系,湖北,武汉,430074;

航天部二院25所,北京,100584;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光电子技术、激光技术;
关键词
石英微透镜; 超导红外探测器; 微透镜/红外探测器组件;

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