用等效电路研究微梁共振器的尺寸效应

摘要

对受磁力驱动的机械微梁共振器进行了振动分析,得到了输出电压与输入电流之间的关系.据此关系,给出了该机械微梁共振器的等效电路表示.分析了共振器的尺寸对其特性的影响,研究结果表明,微梁共振器的品质因子随共振器的尺寸的减小而减小,共振频率不受空气阻尼的影响.