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柱光束反射式光电位移传感器的误差修正

     

摘要

本文从光电子学原理分析入手,讨论了柱光束反射式光电位移传感器的非线性输入-输出特性,提出用最佳一次多项式或三次多项式逼近传感器的输出曲线,并对两种逼近方法进行了误差实验和分析.

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