nm　Al粒子多层复合膜的电磁波散射特性

摘要

用射频溅射工艺制备了ｎｍＡｌ粒子的多层复合膜，通过控制Ａｌ粒子和ＡＩＮ膜的生长时间，成功地控制了Ａ１粒子的粒径和在复合膜中的纵向分布。用ＴＥＭ暗场法并结合ＴＶ图像分析测得了ＡＩ粒子的粒径，并导出了粒径和生长时间的经验公式。ｎｍＡｌ粒子多层复合膜的电磁波散射特性与Ａｌ粒子的粒径、填充因子、凝聚程度及纵向分布有关。