溶胶-凝胶法制备镍酸镧薄膜的研究

摘要

采用溶胶-凝胶 (sol-gel)法,使用浓度分别为0.1mol/L、0.2mol/L和0.3mol/L的前驱体溶液,在单晶Si(100)衬底上制备了镍酸镧[LaNiO3](简称LNO)导电薄膜,研究了前驱体溶液浓度对LNO薄膜结构和导电性能的影响.X射线衍射测试表明,三种样品均为纯的钙钛矿相,具有较好的(110)择优取向.原子力显微镜分析显示,用0.2mol/L前驱体溶液制备的LNO薄膜样品晶粒明显大于0.1mol/L的样品.采用标准四探针法测试了三种样品的电阻率,当前驱体溶液浓度为0.2mol/L时,样品电阻率最小,仅为2.08×10-3Ω·cm,具有良好的导电性.