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纳米铝表面超薄氧化层厚度的表征研究

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摘要

对于氧化层厚度的精确测量,尤其是小于10 nm的超薄氧化层的测量有一定难度.介绍了一种根据XPS图谱中氧化态和金属态的相对强度计算超薄氧化铝厚度的方法,并结合高分辨透射电镜、X射线衍射仪等多种表征手段进行验证.结果表明该方法具有简单、准确等优点.

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来源
《河南教育学院学报：自然科学版》 |2010年第4期|14-16|共3页
作者
吴旌贺; 李永; 史小波; 赵先林;
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作者单位

河南教育学院理论物理重点学科组;

河南教育学院物理系;

河南教育学院化学系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的性质;
关键词
纳米铝粉; 表征方法; Al2O3薄膜; 厚度测量;

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