大放气量小流导真空系统设计探讨

摘要

本文通过模拟电容器真空压力浸渍工艺放气实验，探讨了真空系统抽气性能受流导限制的特点。分析了大放气量状态下，真空系统压强变化与其对应抽气时间的特性并设计了满足电容器生产的单抽单注的真空压力浸渍工艺真空系统。