模型化测量方法在加速度计摆片参数测量中的应用

摘要

传感器制造及校准中，加速度计摆片中的转动惯量Ｊ、阻尼系数Ｄ和挠性梁弹性系数Ｋｃ是经常要测定的量。文中探讨采用模型化测量方法来获得这几个参数。从理论上进行了证明并对测量中的一些问题进行了讨论。