挠性接头细颈尺寸在线测量技术的研究

摘要

基于差压式气动测量原理，将气动测量技术、新型传感器技术和电子技术等有机结合在一起，解决了惯性器件中典型关键元件─挠性接头的细颈尺寸的在线停车测量问题。测量分辨率为０．１μｍ，测量精度优于０．５μｍ。