X射线能谱微区分析中出射角对X射线强度的影响

摘要

利用SEM-EDS研究了硅衬底上Au、Cu薄膜发射的不同线系特征X射线相对强度间比值随出射角的变化规律,探讨了影响其变化的原因.结果显示:随着出射角变大,同一元素不同线系X射线相对强度间比值具有一定变化规律.低能量谱线的强度相对高能量谱线逐渐变大,这种变化主要是受X射线被基体吸收效应的影响所致.在低角度下,特别是在特征X射线全反射临界角附近,实际测得的低能量特征谱线的相对强度比预期要小,这是因为这些低能量谱线的波长较长,相对于这些谱线的全反射临界角较大,由膜内产生的低能量谱线,探测器无法探测到而引起.此项研究为X射线薄膜微区分析的定量计算提供依据.