放电等离子体臭氧发生技术的工艺研究

摘要

低能耗、高浓度、高产量的臭氧发生技术是目前臭氧发生器的发展趋势,而利用低温等离子放电技术获取高浓度的臭氧是研究方向之一。本文探究的是针—网板型电极产生等离子体过程中臭氧含量的变化规律。试验过程采用单因素控制变量法和正交试验法,变量因素有电极材料、放电电压、空气流量、电极规格、放电间距等。目的是探究各变量因素对臭氧含量的影响因子,明确优化的工艺参数,以获得低成本、高浓度的臭氧发生技术。