高精度间隙补偿式闭式气浮导轨性能的分析研究

摘要

本文主要研究了一种用于长行程，高运动精度要求的间隙补偿式闭式气浮导轨。在此气浮导轨中采用了气足的为气浮导舅的基本单元，其中两侧气足与工作台体的连接采用了自准式定位连接结构，以降低气足与工作台体刚性连接的高形位公差要求，同时一侧气足与弹簧串联后与工作台体连接，这样有效地补偿了长民轨两导向工作面不平行所造成的所膜间隙变化，从而降低了导轨形位公差的要求。