显微物镜干涉图的计算机处理

摘要

提出用泰曼干涉仪检测衍射受限的显微物镜，将实验中拍摄的干涉图形数字化后，经计算机处理，用Ｚｅｎｉｋｅ多项式拟合干涉图，可获得各采样点波像差，峰谷误差及均方根误差和各种几何像差。