微光像增强器近贴距离在线测试方法研究

摘要

鉴于近贴距离尤其第一近贴距离是影响分辨力最重要的因素,提出一种新的微光像增强器近贴距离在线测试方法.应用平行平板电容器原理,通过测量阴极面和微通道板输入面之间的电容值来测量第一近贴距离.利用多组电容值和第一近贴距拟合出二者的函数关系式,通过精度分析,对函数关系式进行了修订及验证,测量最大偏差11.9%,满足精度要求.借助在线监控测试第一近贴距离,使压封过程处于受控状态,以便实现近贴距离的精密调控,达到提高微光像增强器分辨力的目的.该方法可推广到其他小间距的在线监控测试.